研究报告
硅片厚薄不均预防措施
2013-03-27

硅片厚薄不均预防措施

1、TV偏大或偏小:根据客户要求片厚,计算出最佳成本/品质的槽距,钢线,碳化矽,砂浆密度。

2、TTV》15mm的硅片占比超过0.62%,属于异常。对于一次切割的单位,应增加导向条(部位不提供),两次切割的单位最好把导轮(主辊)槽距改一下或第二次切割时砂浆流量增大500公斤/小时(5l/min)或多更换20公斤砂浆。

3、硅片的进刀处的进线端(角)偏薄或偏厚,应修改进刀时的砂浆流量

4、同一个硅片的厚度呈大-小-大-小分布的,应调整切割工艺程序。进给,线速,流量应均匀同步变化。

5、跳线引起的某刀硅片厚度异常,同一个片的厚度异常,不同片子的厚度偏差等,因通过加过滤网/过滤袋/振荡筛检程式和切割前仔细过滤,没有跳线来消除。

硅片厚薄不均预防措施

1、TV偏大或偏小:根据客户要求片厚,计算出最佳成本/品质的槽距,钢线,碳化矽,砂浆密度。

2、TTV》15mm的硅片占比超过0.62%,属于异常。对于一次切割的单位,应增加导向条(部位不提供),两次切割的单位最好把导轮(主辊)槽距改一下或第二次切割时砂浆流量增大500公斤/小时(5l/min)或多更换20公斤砂浆。

3、硅片的进刀处的进线端(角)偏薄或偏厚,应修改进刀时的砂浆流量

4、同一个硅片的厚度呈大-小-大-小分布的,应调整切割工艺程序。进给,线速,流量应均匀同步变化。

5、跳线引起的某刀硅片厚度异常,同一个片的厚度异常,不同片子的厚度偏差等,因通过加过滤网/过滤袋/振荡筛检程式和切割前仔细过滤,没有跳线来消除。

 
标签:硅片
相关推荐