精曜科技在前台积高层吴子倩领军下，拥有坚强的研发团队，背景涵盖设备，技术，工艺，机械等等与半导体和太阳能紧密相关的领域，而在资金组成上则受到业界的青睐，获得重量级业者的支持。

精曜科技是两岸之间少有的PECVD设备供应商，近年精曜积极推广下一代异质结太阳电池的关键量产设备，本周在上海举办的上海SNEC2014光伏展会中，精曜有举行专题讲演，主题是陈述最新的异质结太阳电池设备与技术的进展，精曜吴子仲总经理表示，精曜具备强大客制化精密镀膜设备与技术服务能力，提供客户进入高端应用与产业前沿，精曜的客制化LPCVD已协助CIGS电池厂商达到15%以上的效率与100MW以上的产能。另外精曜已在2013年销售首台异质结的大面积PECVD关键镀非晶硅的设备，相关技术档次已达到开路电压（Voc）大于730mV，与整张载盘上所有芯片在正负5.02%以内的高均匀度，设备产品已达到产业化水准，未来在2015年之前应可达到22%的电池效率指标。

精曜陈麒麟副总经理在异质结相关的工艺说明中阐述，精曜的设备开发是按照市场需求、客户规格与工艺导向为本，在高效率电池的发展方面，异质结与PERC等将各占有部份的市场，以目前对生产成本评估上，异质结具有相对的优势，加上异质结的指标有日本松下的25.6%高效率为前导，异质结电池的发展前景可期。现况精曜客户在包含其PECVD设备及其他配套设备所做成的几批异质结电池样品已超过20.7%。精曜落实在地化就近服务的优势，于Solar 2.0世代需要有产品差异化的产品来与GW级电池工厂竞争，精曜有信心提供达到高效率的全程低温工艺。