研究报告
黄河光伏背钝化单晶硅电池效率达18.95%,RIE工艺多晶达17.9%
2013-01-23

黄河光伏日前表示,公司在单晶硅和多晶硅高效电池技术研发方面取得了突破性的进展。单晶硅高效电池的研发,采用氧化铝背钝化新工艺,单晶硅电池转换效率达到了18.95%,多晶硅高效电池的研发采用RIE工艺,电池平均转换效率比过去提升了0.5%,最高效率达到17.90%。

氧化铝背钝化工艺是采用ALD(原子层沉积)或PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺在硅片背面形成氧化铝膜层,然后再在该膜的基础上生长一层氮化矽膜进行保护。通过在背钝化膜层采用镭射开孔工艺,结合背钝化铝浆和相匹配的烧结工艺实现单晶电池转换效率的提升。多晶矽高效电池的研发主要攻关RIE电池技术。RIE工艺采用在多晶硅片制绒后使用等离子体在硅片表面进行轰击刻蚀,使硅片表面形成纳米级的微小绒面,从而达到降低硅片表面光反射的目的,该工艺的主要特点是使电池的短路电流(ISC)得到了明显的提升,增强了多晶矽电池对光的吸收,提升了电池转换效率。

公司已基本掌握了最新高效电池生产工艺背钝化和RIE的核心技术。在后期的新专案建设中,这些技术将运用到新线体的建设中。

 
标签:单晶硅
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