近日，大陆理想能源设备公司研发的大陆首台薄膜太阳能电池关键生产设备--等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)成功投入生产运作。

该设备采用创新的超高频射频技术，精密的真空和温度控制技术，快速的自动传输技术以及多腔多片的反应腔系统等，大大提高了产能。

薄膜太阳能电池生产设备复杂昂贵，尤其是关键设备PECVD价格更高达上千万美元。一直以来，中国企业的此类设备全需进口，生产设备制造成本之高，佔薄膜太阳能电池发电成本的七成左右，导致太阳能并网发电价格比传统电价高出15%甚至更多，预料这台设备将使薄膜太阳能电池产业化进程加速。