研究报告
硅片切割工艺及发展趋势
2018-04-08

1.基本工艺流程
2.切割原理
3.清洗原理
4.技术发展方向

1. 基本工艺流程

硅片切割工艺及发展趋势 硅片切割工艺及发展趋势

2.切割原理:
碳化硅具有锋利的棱角,利用碳化硅磨料滚动摩擦,对硅块磨蚀切割。
聚乙二醇(切割液)将碳化硅黏合在钢丝上,钢线以一定的速度进行传送,实现滚动摩擦。
硅的莫氏硬度:7
碳化硅的莫氏硬度:9.0-9.2
3.清洗原理:

化学:Si+2OH-+H2O==SiO32-+2H2↑
物理:超声波震动颗粒,喷淋,温度
4.技术发展方向
(1)单晶切片往复切割工艺应用
优势:节约钢线,硅片厚度均匀
难点:解决线痕深度及宽度对电池印刷的影响,从而避免组件外观不合格。
(2)金刚线开方及切片技术
优势:硅片TTV大大改善,降低碎片,有利于薄片化。
难点:硅片表面平滑度不如碳化硅切割的好,线材及工艺需要优化
(3)带硅技术
优势:避免了切缝损失,硅料利用率高。
难点:生长的硅片晶粒细小,缺陷密度高,金属含量高,导致电池效率低。

 
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